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昭和電工マテリアルズ・テクノサービス(株)

材質/容量(L)論理段数減圧加熱条件キーワード
ガラス
100未満
10段未満
1mmHg〜10mmHg

熱媒体(〜220℃)

バッチ式

濃縮

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